[实用新型]一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台

摘要

本实用新型提供了一种基于柔性杆的高精度柔性微定位平台，其能解决现有分布柔度式定位平台各支链结构差异较大，不同支链运动性能不够稳定，理论分析较复杂，以及当仅有X或Y方向有运动输入时，还是会产生一定的耦合位移，影响平台运动精度的问题。其包括基座、动平台、四个第一柔性支链和一个第二柔性支链；第一柔性支链由四个双四杆型柔性模块组成，其中三个双四杆型柔性模块并联，再与剩余一个双四杆型柔性模块串联；第二柔性支链由五个双四杆型柔性模块组成，其中四个双四杆型柔性模块并联，再与剩余一个双四杆型柔性模块串联；基座上还分别固定安装有X向电磁驱动器、Y向电磁驱动器和Z向电磁驱动器。