[实用新型]处理腔室和适合在处理腔室的端点检测系统中使用的倾斜窗口有效
| 申请号： | 201921753152.3 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN210897191U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 连雷;P·韩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;G01B9/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了一种处理腔室和适合在处理腔室的端点检测系统中使用的倾斜窗口。所述倾斜窗口具有安装框架，所述安装框架具有主体，所述主体包括第一区段和垂直于所述第一区段延伸的第二区段。所述第二区段具有上表面和底表面，所述第二区段的上表面相对于所述第二区段的底表面以第一锐角倾斜并且相对于所述第一区段以第二锐角倾斜。所述倾斜窗口具有面板，所述面板包括顶表面、底表面和侧壁。所述面板设置在所述安装框架中。所述面板的所述侧壁邻近所述安装框架的所述第一区段。搁置在所述安装框架的所述第二区段的所述上表面上的所述面板的所述底表面相对于所述安装框架的所述第二区段的所述底表面成所述第一锐角。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 适合 端点 检测 系统 使用 倾斜 窗口 | ||
【主权项】：
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