[实用新型]一种低压扩散炉有效
申请号: | 201921754470.1 | 申请日: | 2019-10-18 |
公开(公告)号: | CN212109520U | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 刘群;林佳继;朱太荣;林依婷 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
地址: | 518118 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种低压扩散炉,包括机架和多根炉管,机架上设有对应每根炉管的安装部位,所述多根炉管呈卧式并列排布。本实用新型通过在一个设备内,设置双排卧式炉管,每排炉管都可以有多层结构,通过增加炉管的数量来提高一套设备的产能,并且,由于炉管的布置,本实用新型还可以为每排炉管配套的上下料结构,对每排炉管分别进行上下料,这样,上下料和炉内加工同时进行,从流程上提高了效率和产能。 | ||
搜索关键词: | 一种 低压 扩散 | ||
【主权项】:
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