[实用新型]大型磁控溅射镀膜机的真空室结构

摘要

本实用新型公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。本实用新型的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求，抗压均匀，稳定性好、使用方便。