[实用新型]一种用于真空溅射镀膜的改良防着板有效
| 申请号： | 201921763668.6 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN210916236U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 梅德忠 | 申请（专利权）人： | 苏州德润达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人： | 刘慧 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空溅射镀膜的改良防着板，包括防着板本体，上层防着面和下层防着面，所述上层防着面设于防着板本体的上表面，所述下层防着面设于防着板本体的下表面，所述上层防着面和下层防着面由若干防着块和沉积流道组成，所述防着块为梯形块结构，相邻两个防着块中心间距为5‑10mm，相邻两个防着块之间的沉积流道宽为2‑5mm，所述防着块的斜面倾角为45°‑80°，所述防着板本体侧面设有安装孔，所述防着板本体上表面及下表面设有加厚层，加厚层位于安装孔正上方和正下方。本实用新型的优点在于：采用双层防着面增加了防着板的沉淀能力，同时在安装孔位处设有加厚层，防止在几次清洗防着板后安装孔不可用，提高其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 溅射 镀膜 改良 防着 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州德润达电子科技有限公司，未经苏州德润达电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921763668.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可多向旋转的洗墙灯
- 下一篇：一种微波烘干用地体结构
- 同类专利
- 专利分类
