[实用新型]一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置

摘要

本实用新型的一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置，该抛动装置包括传动板、固定杆、底板、转轮、凸轮、连接板和直线导轨；传动板的两侧分别贯穿设置所述固定杆，传动板上均匀分布有若干个用于固定传动板和固定杆的固定螺丝孔，底板设置在传动板的下方且与固定杆的底端分别连接，转轮设置在该抛动装置的中心位置且连接后方的电机，转轮的上部贯穿设置凸轮且转轮的转动带动凸轮的转动，凸轮的上方通过连接板连接设置直线导轨，直线导轨位于连接板和传动板之间，直线导轨和连接板将凸轮的圆周运动转化为传动板的非匀速直线运动。本实用新型实现对腐蚀前的硅片的充分清洗的同时，尽可能地减少机械磨损问题，延长其使用寿命。