[实用新型]一种TOPCON钝化结构有效
申请号: | 201921776985.1 | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN210778615U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 屈小勇;高嘉庆;张博;胡林娜 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团西安太阳能电力有限公司;黄河水电西宁太阳能电力有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/0747 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 安曼 |
地址: | 710099 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型的目的在于公开一种TOPCON钝化结构,包括N型或P型的硅片基体,在所述硅片基体的表面由内至外依次设置有隧穿二氧化硅层、TOPCon结构的掺杂多晶硅层/非晶硅层、含磷的氧化硅层SiOx:P或含硼的氧化硅层SiOx:B及SiNx顶盖层;与现有技术相比,通过退火过程生长的含磷氧化硅层SiOx:P或者含硼氧化硅层SiOx:B作为太阳能电池TOPCon结构的表面钝化层,不需要额外的工序来实现掺杂层表面钝化层生长,简化太阳能电池制备工艺流程,提高了TOPCon结构对硅片基体掺杂层的钝化质量,实现本实用新型的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 topcon 钝化 结构 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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