[实用新型]真空腔室动密封驱动总成有效

专利信息
申请号: 201921782596.X 申请日: 2019-10-23
公开(公告)号: CN210799944U 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 宋德鹏;于涛 申请(专利权)人: 济南力冠电子科技有限公司
主分类号: F16H37/12 分类号: F16H37/12;F16J15/16
代理公司: 山东众成清泰律师事务所 37257 代理人: 丁修亭
地址: 250119 山东省济南市天桥区桑梓*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种真空腔室动密封驱动总成,其基本结构包括:管架,为直管体,该直管体的轴向为预定的直线运动方向,且该直管体的一端与真空腔室间固定连接;直线驱动部,固定安装管架的另一端;托板,位于管架内,并由所述直线驱动部的输出构件所驱动;托杆,通过第一轴承安装在托板上,为驱动总成的驱动对象;键套,通过第二轴承安装在管架内,并与托杆间形成键连接,使托杆具有轴向的自由度和基于键套的周向自由度;以及旋转驱动部,安装在管架上,并输出驱动所述键套,以使托杆具有预定的旋转运动。依据本实用新型的驱动总成密封效果好,且能够实现复合的运动。
搜索关键词: 空腔 密封 驱动 总成
【主权项】:
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