[实用新型]一种新型离心式硅片甩干机有效
| 申请号： | 201921783403.2 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN210892394U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 裴保齐 | 申请（专利权）人： | 洛阳鸿泰半导体有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 贾双明;寿宁 |
| 地址： | 471003 河南省洛阳市高新区*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种新型离心式硅片甩干机，包括甩干桶、桶盖、电机、皮带轮以及转轴，桶盖罩盖在甩干桶上，电机的输出轴与皮带轮连接，皮带轮与转轴一端连接，转轴另一端穿过甩干桶底部后与设置在甩干桶内部的硅片承载装置固接，所述桶盖的中心开设有贯通的空气入口，在空气入口内安装有空气过滤网，所述甩干桶的侧壁开设有空气导流口，该空气导流口与空气导流管连通。本实用新型在桶盖上开设空气入口，并在空气入口处设置空气过滤网，在甩干桶内部硅片及硅片承载装置高速旋转的离心力作用下形成自上而下高速气流，从而将硅片上的水汽由空气导流口排出甩干桶，可以在杜绝空气污染和减少能耗的情况下，实现硅片的甩干脱水，并且成本低廉，甩干脱水效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 离心 硅片 甩干机 | ||
【主权项】：
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