[实用新型]脱落报警机构与真空蚀刻机喷淋装置有效

专利信息
申请号: 201921786347.8 申请日: 2019-10-23
公开(公告)号: CN210515624U 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 张志铭;彭文才;陈黎阳 申请(专利权)人: 广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司
主分类号: G08B21/24 分类号: G08B21/24
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 米晶晶
地址: 510663 广东省广州市广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种脱落报警机构与真空蚀刻机喷淋装置,将固定件安装在连接部件上;再将触发件与固定件传动配合,使得触发件跟随固定件移动而移动,如此,当连接部件发生脱落时,连接部件会通过固定件带动触发件移动。由于触发件移动能够触发开关组件处于闭合状态,因此,当触发件伴随连接部件脱落而移动时,报警器所在电路处于导通状态,使得报警器工作报警。这样,使得作业人员能够及时、准确发现连接部件脱落问题。同时,本实施例通过固定件与触发件,使得连接部件与报警结构间接配合,避免报警结构需直接作业在连接部件上而导致脱落报警机构的组装作业在有限空间内完成,如此,提高脱落报警机构的组装效率。
搜索关键词: 脱落 报警 机构 真空 蚀刻 喷淋 装置
【主权项】:
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