[实用新型]一种用于BSA系统的冷却装置以及BSA系统有效
申请号: | 201921789845.8 | 申请日: | 2019-10-23 |
公开(公告)号: | CN211741837U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 刘栋;张雷;李伟成 | 申请(专利权)人: | 苏州源卓光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 陈松 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于BSA系统的冷却装置,其能够同时对激光器和电路板进行冷却,冷却效果好,包括冷却壳体,所述冷却壳体由金属制成,所述冷却壳体内设置水冷通道,所述水冷通道连接有至少两个水冷接头,其中一个所述水冷接头用于进水,另一个所述水冷接头用于出水,电路板紧靠设置在所述冷却壳体的一侧表面上,所述冷却壳体的一侧表面上安装有激光器,此外本实用新型还提供了一种BSA系统。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 bsa 系统 冷却 装置 以及 | ||
【主权项】:
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