[实用新型]硅棒研磨机有效
申请号: | 201921794300.6 | 申请日: | 2019-10-24 |
公开(公告)号: | CN211490756U | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 卢建伟;潘雪明;苏静洪;李鑫;曹奇峰;钱春军;李彬 | 申请(专利权)人: | 天通日进精密技术有限公司 |
主分类号: | B24B5/04 | 分类号: | B24B5/04;B24B5/50;B24B41/06;B24B27/00;B24B41/02;B24B5/35;B24B5/36 |
代理公司: | 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309 | 代理人: | 张明;王再朝 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请提供一种硅棒研磨机及硅棒研磨方法,硅棒研磨机的粗磨装置与精磨装置分别设置在硅棒加工平台的第一加工区位与第二加工区位,并设置有同时贯穿第一加工区位与第二加工区位的第一转移装置与第二转移装置,并为第一、第二转移装置分别配置硅棒夹具与驱动机构,通过协调控制第一、第二转移装置与粗磨装置、精磨装置,使得在同一时刻所述硅棒研磨机粗磨装置与精磨装置均处于工作状态,在保持硅棒研磨机的尺寸规格与成本的基础上将研磨加工效率提升至两倍,缩减了研磨作业耗时,提升了经济效益。 | ||
搜索关键词: | 研磨机 | ||
【主权项】:
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