[实用新型]一种微动台及具有该微动台的运动装置

摘要

本实用新型涉及一种微动台及具有该微动台的运动装置。微动台包括托盘，其上表面设有让位槽，在转移托盘上物品时至少部分地容纳机械手；旋转台，其位于所述托盘下方，且上表面设有环形上部凹腔，下表面设有下部凹腔，其中上部凹腔与下部凹腔在垂直于旋转台的上表面的投影方向上的投影相互错开；旋转电机，容纳在环形上部凹腔内，并包括旋转电机动子和旋转电机定子，旋转电机定子相对于旋转台固定，旋转电机动子相对于托盘固定；垂直移动装置，位于下部凹腔内并构造成能够驱动旋转台垂直移动；浮动重力补偿装置，位于下部凹腔内并构造成能够对旋转台进行重力补偿。本实用新型实现了扁平化设计，提高了垂向运动的导向刚度和精度，且便于机械手操作。