[实用新型]一种用于碳化硅炉自动调节温场梯度的装置有效
| 申请号： | 201921803720.6 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN212270278U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 胡建荣;高宇;倪军夫;董熔成;陈焕;石明智;阮文星;傅林坚;曹建伟 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00;G05D23/30 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及碳化硅单晶生长炉领域，特别是涉及一种用于碳化硅炉自动调节温场梯度的装置。包括反应腔室，反应腔室外部设有加热单元，反应腔室内设有热场；还包括温度测量单元、加热单元提升系统和可编程逻辑控制器；加热单元包含感应线圈与电源，感应线圈设于反应腔室外部，加热单元提升系统与感应线圈和可编程逻辑控制器相连，用于带动感应线圈沿反应腔室外壁的竖向运动；温度测量单元包括多个光学温度测量传感器，对称设于反应腔室的顶部和底部并与可编程逻辑控制器相连。本实用新型可以按照工艺设定要求，自动调整电源输出功率和线圈位置，达到热场顶部温控和纵向温度梯度控制，避免因人为误操作引起风险，同时节省人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 自动 调节 梯度 装置 | ||
【主权项】：
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