[实用新型]一种晶圆铁环放置推车有效
| 申请号： | 201921805345.9 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN210882238U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 徐学飞;陈志远;聂伟;孟强;王坤;苏杨生 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/04 | 分类号： | B62B3/04;B62B5/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体晶圆领域内的一种晶圆铁环放置推车，包括若干片晶圆铁环，晶圆铁环的外边缘分别设置有前定位面、后定位面、左定位面和右定位面，还包括底板，底板下侧设置有至少四个万向轮，各片晶圆铁环依次堆叠放在摆放架上，各晶圆铁环的外圆周方向间隔设置有至少3根定位立杆，所述底板的左侧、右侧和后侧均设置有立柱，各立柱上端固定连接有U形顶部支架，每根所述立柱上固定连接有定位件，定位件的左侧板和右侧板分别与相应立柱的左侧面、右侧面相对应，定位件中间板与立柱正面相对应，三个定位件中间板的另一侧分别与左定位面、右定位面和后定位面相贴合。本实用新型能够方便地转移晶圆铁环，防止晶圆铁环的位置偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铁环 放置 推车 | ||
【主权项】：
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