[实用新型]无磁环境扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 201921813544.4 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN210403653U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 姚莉;顾斌宾;朱玉宝 | 申请（专利权）人： | 苏州优波光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘宁 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种无磁环境扫描电子显微镜，包括：样品台，用于放置样品；电子源，用于产生电子束；聚光镜，用于所述电子源产生的电子束进行第一级汇聚；磁透镜，设于所述聚光镜与样品台之间；且所述磁透镜的极靴与样品台上的样品之间的距离为100mm‑200mm，所述磁透镜用于对所述聚光镜汇聚后的电子束的进行第二级汇聚；静电透镜，设于所述磁透镜与所述样品台之间，用于对经所述磁透镜汇聚后的电子束进行聚焦；及电子探测器。上述无磁环境扫描电子显微镜，通过将磁透镜的极靴与样品台上的样品之间的距离设为100mm‑200mm，使磁性样品不受磁透镜的磁场影响，有效确保样品台上的磁性样品保持原有的磁化状态。 | ||
| 搜索关键词： | 环境 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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