[实用新型]一种用于反应气氛切换的自动控制气路系统有效
| 申请号： | 201921835961.9 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN210979354U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 赵海波;田鑫 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F17D3/03;F17D3/18 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型属于气体控制技术领域，并具体公开了一种用于反应气氛切换的自动控制气路系统。该自动控制气路系统包括气路连接装置、流量控制装置和自动控制装置，其中：气路连接装置包括预设数量的气路管线和电磁阀，气路管线用于为气体输送提供通道，电磁阀用于控制各个气路管线的开闭，从而实现反应气氛的切换；流量控制装置包括预设数量的质量流量计，分别用于控制各个气路管线中的气体流量，进而控制气体的浓度；自动控制装置用于控制电磁阀的开闭，从而实现反应气氛切换的自动控制。本实用新型能够对各个气路管线的开闭进行自动控制，阀门开闭的时间精确可调，并且具有可靠性高、操作简单的优势，能够最大程度减少人为因素对实验过程的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 反应 气氛 切换 自动控制 系统 | ||
【主权项】：
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