[实用新型]一种硅处理碱洗装置有效
申请号: | 201921842772.4 | 申请日: | 2019-10-28 |
公开(公告)号: | CN211275686U | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 石坚;于友 | 申请(专利权)人: | 山东九思新材料科技有限责任公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/14;B08B13/00;B08B5/04 |
代理公司: | 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 37249 | 代理人: | 赵阳 |
地址: | 273213 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供一种硅处理碱洗装置,包括:回水箱,第一清洗槽,第二清洗槽和冲洗槽;第一清洗槽,第二清洗槽和冲洗槽的上部设有吸风罩;回水箱的内部,第一清洗槽的内部,第二清洗槽的内部和冲洗槽的内部分别设有液位计和温度传感器;本实用新型可以根据硅材料的处理量设置相应的清洗槽,并对硅材料处理后,还可以进行清洗,提升处理后的效果。通常对硅材料处理采用碱性液体,在处理过程中,容易产生气体,本实用新型通过吸风罩及抽风机把产生的气体排出,避免影响的操作人员的身体。本实用新型通过设置鼓泡器产生鼓泡,能使碱液与内部硅片接触更加充分,实现高效冲洗反应。 | ||
搜索关键词: | 一种 处理 装置 | ||
【主权项】:
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