[实用新型]一种单晶炉热场有效
| 申请号： | 201921843202.7 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN211595844U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 王志磊;张燕玲;邢德春;王志卿;于彩凤 | 申请（专利权）人： | 晶创铭盛电子科技（香河）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 杨玉廷 |
| 地址： | 065400 河北省廊坊市香河经济技术开发*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉热场，包括炉体、石墨电极、加热器、坩埚托盘、坩埚、石英坩埚、保温罩、导流筒；还包括石墨碳毡、石英环、托杆防漏套，所述托杆防漏套为上端开口底端封闭的筒状结构，且所述托杆防漏套底端设有通孔，所述坩埚托杆穿过通孔，所述托杆防漏套底端通孔边缘与所述坩埚托杆外表面焊接固定；所述石墨碳毡盘卷在所述保温罩周围，所述石墨碳毡之间设有单层无锡纸。本实用新型能够通过托杆防漏套对流经坩埚拖杆的漏硅液进行阻隔处理，防止漏硅液泄露导致漏硅液经坩埚拖杆杆身流到坩埚托杆底部，损坏炉体底部元件；在保温罩周围的石墨碳毡之间增加了单层无锡纸，能够进一步增加炉体的保温处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉热场 | ||
【主权项】：
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