[实用新型]一种化学机械抛光装置有效
| 申请号： | 201921843533.0 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN211332724U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 孙韬 | 申请（专利权）人： | 宁波日晟新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B47/12 |
| 代理公司： | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人： | 朱玉泉 |
| 地址： | 315410 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学机械抛光装置，包括夹持件、抛光盘、转动架、喷淋组件和传动机构；夹持件位于抛光轮的空腔内；抛光盘由基座和抛光垫组成，基座固定连接在外齿圈上；转动架包括外齿圈、行星轮、太阳轮和抛光轮；太阳轮固定连接在支撑架上，行星轮同时与太阳轮的外齿和外齿圈的内齿相啮合，且行星轮由外齿圈带动，并沿太阳轮中心旋转；抛光轮与行星轮啮合传动，抛光轮中间为空腔、外圈为外齿的空心轮；所述喷淋组件包括循环泵、喷淋管；所述传动机构包括电机和连接在电机上的转轴。本实用新型的化学机械抛光装置，解决了抛光工件抛光效率低、表面质量差的问题，从而提高抛光生产操作负荷和工件质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 装置 | ||
【主权项】：
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