[实用新型]一种精细金属掩膜板、掩膜装置及张网设备有效
申请号: | 201921843623.X | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN211036074U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 蔡建畅;薛龙辉;张微;肖星亮 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种精细金属掩膜板、掩膜装置及张网设备,所述精细金属掩膜板包括掩膜条本体,所述掩膜条本体为长条状,包括相对的两个长边和相对的两个短边;及,设置在每一所述短边上,沿该短边延伸方向、依次间隔排列的至少三个裙边。本实用新型提供的精细金属掩膜板、掩膜装置及张网设备,能够减少掩膜板张网工艺中的褶皱及下垂量,提高张网精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 精细 金属 掩膜板 装置 设备 | ||
【主权项】:
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