[实用新型]一种用于激光剥蚀系统的防起雾装置有效
| 申请号： | 201921852533.7 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN210893887U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 任德馨;刘朋;陈微言;胡志刚 | 申请（专利权）人： | 上海凯来仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/42 | 分类号： | G01N1/42;G01N27/62 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 201200 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于激光剥蚀系统的防起雾装置，包括环状结构件，所述环状结构件的内部具有一沿其周向开设的气体流通槽，所述环状结构件的底部开设有多个出气孔，所述出气孔与气体流通槽连通；所述环状结构件具有一进气口，所述进气口与气体流通槽连通。本实用新型结构简单，操作方便，在实验过程中通过出气孔不断地吹扫样品池的上部玻璃表面，防止因玻璃起雾而影响剥蚀效果；本实用新型与激光剥蚀系统自有的气源连接，无需人工操作，轻了实验人员的工作量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 剥蚀 系统 防起雾 装置 | ||
【主权项】：
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