[实用新型]一种基于人工金属微结构的气压传感器有效
| 申请号： | 201921853843.0 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN210464770U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 周鹏;郑改革;花小敏;邹秀娟 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 刘林峰 |
| 地址： | 210044 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于人工金属微结构的气压传感器，涉及气压传感器技术领域，解决了现有的气压传感器大多需要电信号进行工作，很难在复杂电磁环境下使用的问题。其包括石英衬底，所述石英衬底上设有用于阻挡透射的金属铝反射层，金属铝反射层上方自下而上依次设有氧化铝介质层、二氧化硅层和悬浮金属铝膜；所述二氧化硅层为环形，所述悬浮金属铝膜上开设有纳米圆孔阵列，圆孔阵列位于二氧化硅层内孔的正上方，且纳米圆孔上皆覆盖有透明薄膜。其达到了能使用全光信号进行工作，可以在天然气等易爆气体中使用，适用性更广的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 人工 金属 微结构 气压 传感器 | ||
【主权项】：
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