[实用新型]湿法清洗设备烘干机构有效

专利信息
申请号: 201921866934.8 申请日: 2019-11-01
公开(公告)号: CN210575860U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 莫科伟;祁志明;李松松 申请(专利权)人: 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214194 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型是湿法清洗设备烘干机构,其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板,气缸固定座上固定有气缸,气缸上固定有热风升降装置,热风升降装置上固定有热风管,热风管内设感温机构,气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构;模组固定板上固定有吹干模组和感应器,吹干模组上固定有冷风管,模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。本实用新型的优点:烘干机构采用升降带动热风管,有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品,能充分的烘干;吹干模组带动冷风管左右移动,也充分覆盖,从而达到吹干水分;标准件保证了机构整体稳定性,达到设备产品干进干出的目的,提高了质量,且提高了效率。
搜索关键词: 湿法 清洗 设备 烘干 机构
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉姆西半导体科技(无锡)有限公司,未经吉姆西半导体科技(无锡)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921866934.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top