[实用新型]微型过滤器及MEMS传感器组件有效
| 申请号： | 201921870566.4 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN211328635U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/54 | 分类号： | B01D46/54;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石伟 |
| 地址： | 266101 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开内容的第一方面提供了一种微型过滤器，其包括：承载件(201)，具有形成于其内的、在其厚度方向上贯通的贯通腔(205)；以及滤膜(202)，叠置于承载件(201)上，并且覆盖贯通腔(205)的一个开口。承载件(201)还具有形成于其内的、在其厚度方向上贯通的贯通沟槽(203)，贯通沟槽(203)环绕贯通腔(205)并且与贯通腔(205)没有交集。本公开内容的第二方面还提供了一种MEMS传感器组件。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 过滤器 mems 传感器 组件 | ||
【主权项】：
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