[实用新型]一种曝光机用冷却水分配系统有效
| 申请号： | 201921873617.9 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN211061849U | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 王亮;陆长利 | 申请（专利权）人： | 无锡力华智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 张宁;杨辰 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种曝光机用冷却水分配系统，其能解决现有曝光机的冷却水分配系统多是由自来水管搭建，费时费力、占用空间大、调节精度不高，且维修困难的问题。其包括歧管块，歧管块内部分别设有总进水通道和总回水通道，总进水通道和总回水通道的一端封闭，另一端分别安装有快插接头；歧管块上还分别开有至少两个与总进水通道连通的分出水口，分出水口上密封安装有出水调节阀，出水调节阀上安装有流量计，流量计上安装有快插接头；歧管块上还分别开有数量与分出水口一致的且与总回水通道连通的分回水口，分回水口上密封安装有回水调节阀，回水调节阀上安装有快插接头。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 冷却水 分配 系统 | ||
【主权项】：
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