[实用新型]一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片

摘要

本实用新型公开了一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片，包括衬底和依次设置在衬底上侧的振膜与背极板，振膜上设置有泄气阀，背极板上与振膜上的泄气阀相对应的位置设置有泄气孔，所述的泄气孔远离振膜的一侧上设置有阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件。本实用新型通过设置阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件，当泄气阀受到气流冲击时，泄气阀打开，但是由于遮挡组件的设置，泄气阀不能完全伸展开，微尘由于受到泄气阀和遮挡组件的共同作用，被阻挡在背极板的外侧，有效防止微尘进入到麦克风的内部。本实用新型的结构简单小巧，在保证抗吹风能力的同时具有良好的防尘能力。