[实用新型]一种密集孔激光精密加工装置

摘要

本实用新型公开了一种密集孔激光精密加工装置，包括激光加工头、激光发生器、执行机构和控制机构，激光加工头包括导光光路和喷嘴，激光发生器输入的激光经导光光路聚焦形成照射基材的激光光束，所述喷嘴用于喷射高速射流吹扫基材被所述激光光束熔化后残余的熔渣；执行机构包括长程运动机构和微动机构，所述长程运动机构用于移动激光加工头使激光光束定位至基材上待加工孔的孔中心位置，微动机构用于移动激光加工头使激光光束环绕孔中心按照待加工孔的孔型扫描形成孔边界并按照待加工孔的孔型螺旋下降扫描照射基材使孔成型。本实用新型解决了现有激光打孔工艺中存在的难以适用于大面积高密度群孔加工场合，且加工效率低下以及孔质量不高等问题。