[实用新型]一种环保型硅片清洗机有效
| 申请号： | 201921911010.5 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN211071092U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 陆敏 | 申请（专利权）人： | 四川晶美硅业科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/12;H01L21/67;H01L21/687;B01D53/18 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 方强 |
| 地址： | 629000 四川省遂宁*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种环保型硅片清洗机，包括壳体、支撑脚和上盖，壳体底端固定设有搅拌电机，搅拌电机的输出端贯穿壳体至壳体内部，且输出端与硅片固定装置相连，硅片固定装置上的前夹板与后夹板相铰接，前夹板尺寸与后夹板相同；锁耳焊接在前夹板两侧；锁扣焊接在后夹板两侧，且与锁耳相匹配；连接柱杆焊接在前夹板中部；卡槽采用多个，前夹板和后夹板均采用镂空结构，壳体内壁四周固定设有电加热器，壳体内壁底部固定设有超声波发生器，壳体侧壁上端设置有进水管，加水管向对面的壳体上还设有排气管，排气管与废气处理装置相连，壳体侧壁下端设有排水管。本实用新型具有结构简单、操作方便快捷、清洗效率高和更加环保等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环保 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
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