[实用新型]一种金刚石薄膜生长气路结构

摘要

本实用新型涉及金刚石薄膜技术领域，且公开了一种金刚石薄膜生长气路结构，包括金刚石生长室，所述金刚石生长室的上方设置有第一连接管,所述第一连接管的左右两侧均连通有第二连接管，右侧的所述第二连接管上设置有截止阀A，所述第二连接管的底端连通有CHO液态源容器，所述CHO液态源容器内设置有CHO液态源，所述CHO液态源容器的一侧设置有氢气气源。本方案的真空镀膜的金刚石薄膜生长气路结构，通过氢气带动CHO液态源饱和蒸汽进入金刚石薄膜生长室，并通过调节氢气流量计大小，调节腔室压强，从而得到混合均匀、比例合适、气压正常的金刚石薄膜生长气氛，且操作简单。