[实用新型]一种用于显微光刻的微缩投影装置有效
| 申请号： | 201921912023.4 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN211086886U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 华平壤;姜城 | 申请（专利权）人： | 天津通软信息技术有限公司 |
| 主分类号： | G03B21/14 | 分类号： | G03B21/14;G03B21/16;G03B21/20;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 蔡岩岩 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区经济技术*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于显微光刻的微缩投影装置，包括投射腔体、曲面镜组、激光器、动力腔体和凹面镜组，所述投射腔体内部的中心位置处设有凹面镜组，且凹面镜组一侧的投射腔体内部设有曲面镜组，并且曲面镜组远离凹面镜组一侧的投射腔体内部设有正透镜组，所述投射腔体一侧的外壁上固定有连接筒体，连接筒体的一端延伸至投射腔体的内部，且连接筒体远离投射腔体一侧的外壁上固定有动力腔体，动力腔体的一端与连接筒体的一端相连通，并且动力腔体内部的一侧设有激光器，激光器一侧的外壁上设有螺旋结构。本实用新型不仅确保了微缩投影装置使用时的投影效果，延长了微缩投影装置的使用寿命，而且提高了微缩投影装置的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 显微 光刻 微缩 投影 装置 | ||
【主权项】：
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