[实用新型]微粒检测模块有效
| 申请号： | 201921913972.4 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN211576880U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;林景松;吴锦铨;陈智凯;韩永隆;黄启峰;蔡长谚 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微粒检测模块，包含：一基座、一压电致动器、一激光组件、一微粒传感器及一外盖，于基座将导气组件承载区及激光设置区间隔，再辅以气体流道设计，最后由驱动电路板封盖于基座底面、外盖封盖基座表面，进而使基座的一进气沟槽定义出一进气路径，以及使基座的一出气沟槽定义一出气路径，可大幅降低微粒检测模块的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 微粒 检测 模块 | ||
【主权项】：
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