[实用新型]带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置

摘要

本实用新型属于激光加工技术领域，公开了一种带扫描振镜的激光加工系统的高精度高放大倍率成像装置，设置有双色飞秒激光器；所述双色飞秒激光器发出激光光束，依次经过扩束模块、二维双轴扫描振镜、场镜，聚焦在位于数控移动平台上的加工样品上；所述数控移动平台的上方设置有由电动控制移动夹具夹持的点光源高反镜；所述点光源高反镜的一侧设置有成像装置；所述成像装置包括点光源、点光源半透半反镜片、可变焦距镜组、成像CCD；所述可变焦距镜组与成像CCD与计算机无线连接。本实用新型能够最大限度的提高昂贵器件的使用率，降低系统造价，提供最高的图像分辨率和最高质量的成像。