[实用新型]衬底支撑组件有效
| 申请号： | 201921932647.2 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN211578693U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | M·R·赖斯;V·D·帕科 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了一种衬底支撑组件，所述衬底支撑组件具有沿着所述衬底支撑组件的侧表面设置在所述衬底支撑组件中的接地电极网。所述衬底支撑组件具有主体。所述主体具有外顶表面、外侧表面和外底表面，所述外顶表面、所述外侧表面和所述外底表面包围所述主体的内部。所述主体具有接地电极网，所述接地电极网设置在所述主体的所述内部中并邻近所述外侧表面，其中所述接地电极不延伸通过到所述外侧顶表面或所述外侧表面。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 支撑 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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