[实用新型]一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置有效
| 申请号： | 201921943497.5 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN210922540U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 吴俊杰;李源;王阳;傅云霞;蔡潇雨;魏佳斯;周勇;孙恺欣 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 任翠翠 |
| 地址： | 200040 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，在利用本实用新型的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 象限 光电 探测器 三维 接触 测量 装置 | ||
【主权项】：
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