[实用新型]一种尾气处理装置和一种多晶硅生产系统有效
申请号: | 201921952118.9 | 申请日: | 2019-11-12 |
公开(公告)号: | CN211245809U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 黄勤;何鹏飞;向春林;王世棋 | 申请(专利权)人: | 四川永祥新能源有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B01D46/24;C01B33/021 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王小清 |
地址: | 614800 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种尾气处理装置和一种多晶硅生产系统,该多晶硅生产系统中设置有该尾气处理装置。该尾气处理装置包括硅粉过滤器、气包和能够产生脉冲气流的反吹角阀。其中:气包的入口连接气源,气源能够向气包内输送高压氢气;气包的出口通过反吹管线与硅粉过滤器的上部连接,反吹管线中设置有反吹角阀,用于对硅粉过滤出器中的滤芯进行反吹。可见,该尾气处理装置中,通过气包和反吹角阀,能够去除滤芯上粘附的硅粉,避免硅粉过滤器的滤芯发生堵塞。 | ||
搜索关键词: | 一种 尾气 处理 装置 多晶 生产 系统 | ||
【主权项】:
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