[实用新型]一种PECVD尾气处理装置有效
| 申请号： | 201921960206.3 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN211753227U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈金元 | 申请（专利权）人： | 理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/02 | 分类号： | B01D46/02;B01D46/30;B01D53/04 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 刘静宇 |
| 地址： | 225400 江苏省泰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD尾气处理装置，包括收集构件，所述收集构件的右侧安装有进气管，所述收集构件的内部安装有除尘构件，所述除尘构件的左侧上下两端均安装有撑杆，所述撑杆的外壁套接有插管，所述插管之间安装有过滤装置。该PECVD尾气处理装置，通过支板、插管、第一螺纹管、过滤袋、支块、横杆和支架的配合，达到了可以对进气管进入到箱体内部带有灰尘的有害气体中的灰尘进行过滤工作，同时可以对过滤袋进行更换工作，通过外壳、盒体、环板、过滤棉和活性炭的配合，达到了可以对除尘后的有害气体中的有害物质进行过滤净化工作，同时方便对过滤棉和活性炭进行更换工作，达到了可以将灰尘进行过滤收集工作，方便对灰尘的处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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