[实用新型]一种板式PECVD机台的双面镀膜结构

摘要

本实用新型公开了一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，包括外框，所述外框的内部上下两端均安装有石英管，所述外框的内部安装有镀膜机构，所述外框外壁上下两端均安装有下夹板，所述下夹板的外侧转动连接有上夹板，所述下夹板和上夹板的内部插接有磁铁，所述外框的左侧安装有调节构件，所述调节构件的左侧安装有转盘。该板式PECVD机台的双面镀膜结构，通过第一外壳、第二外壳、插板和槽板的配合，可以为镀膜工作提供空间，通过支杆、扣板、石墨框和硅片的配合，达到了可以进行镀膜工作，通过支架、定块、螺杆、转盘、螺纹管和撑杆的配合，达到了可以对外框内部的空间进行调节工作，可以使等离子的数量进行控制，达到了可以对镀膜的效果进行调节工作。