[实用新型]喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置有效
| 申请号： | 201921985953.2 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN210835586U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 曾俊华;许维政 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;高翠花 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置，其包括：容纳槽，用于放置显影喷嘴装置；吹扫装置，包括气源、至少一出气口及连接所述气源与所述出气口的输气管路，所述出气口设置在所述容纳槽中，吹扫气体自所述气源沿所述输气管路传输，并自所述出气口吹出，所述吹扫气体能够作用于所述显影喷嘴装置的外表面，以将所述显影喷嘴装置外表面或喷嘴处的液滴去除。本实用新型的优点在于，喷嘴清扫装置能够去除显影喷嘴装置外表面及喷嘴尖端的残留液滴，避免该液滴显影喷嘴装置移动过程中滴落而影响晶圆的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 装置 承载 | ||
【主权项】：
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