[实用新型]一种用于植球治具的干燥装置有效
| 申请号： | 201921989741.1 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN210892453U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 杨杰;杨帆;吴继春 | 申请（专利权）人： | 紫光宏茂微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/06;F26B25/00 |
| 代理公司： | 上海市嘉华律师事务所 31285 | 代理人： | 黄琮 |
| 地址： | 201799 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种用于植球治具的干燥装置。本实用新型的干燥装置，包括：座体、干燥气源、控制机构和多个气体接头，座体包括第二底板、前侧板、后侧板、左侧板和右侧板，前侧板、后侧板、左侧板和右侧板在第二底板上围成一矩形凹槽，前侧板设有多个第一通孔，后侧板设有多个第二通孔，气体接头设置在第二通孔处，通过气体管路与干燥气源连接，控制机构设置在气体管路上。本实用新型的用于植球治具的干燥装置，植球治具放置在座体上，干燥气源向座体的矩形凹槽内输送干燥气体，通过流动的干燥气体对植球治具进行干燥，并通过控制机构控制干燥气体的通断，简单方便，且节约了人力，植球治具也不会掉落损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 植球治具 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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