[实用新型]一种高频振动清洗机有效
申请号: | 201921993689.7 | 申请日: | 2019-11-18 |
公开(公告)号: | CN211386092U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 李志卫;张仕俊;石正娟 | 申请(专利权)人: | 苏州新米特电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/14;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高频振动清洗机,涉及硅片清洗技术领域,其技术方案要点是包括机体,机体内设有超声槽,超声槽的开口处搭接有用于放置硅片的支架,机体的一侧设有与超声槽连通的排水口,超声槽内可拆卸设有过滤板,过滤板位于支架与超声槽底部之间,过滤板四周的周缘全部抵接于超声槽的内周侧壁使超声槽被分为上下两个腔室。过滤板上设有用于取放过滤板的手握结构;超声槽相对的两内侧壁均设有用于支撑过滤板的支撑杆。还包括用于固定过滤板的锁定结构。本实用新型通过过滤板过滤水中的粉尘等杂质,降低了工作人员清理超声槽的次数,只需要更换过滤板即可,操作简单快捷。 | ||
搜索关键词: | 一种 高频 振动 清洗 | ||
【主权项】:
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