[实用新型]一种组合式真空差分结构

摘要

本实用新型提供一种组合式真空差分结构，其包括波纹管和差分管，所述波纹管的上游端与一双面刀口法兰相连，所述双面刀口法兰的中央处设有通孔，所述差分管设于波纹管的腔体内且一端固定于该双面刀口法兰的通孔处。本实用新型的组合式真空差分结构由于差分管伸入波纹管内部，该结构节省了空间，相当于增加了差分距离，提高了差分比，可以最大限度地利用设备间的有效距离，提高差分效率，进而在有限的空间内完成同步辐射光束线中不同设备间在超高真空环境中的工作压力过渡，结构紧凑，占用空间小；同时可以满足设备相对运动需求，以满足不同模式切换需求。