[实用新型]真空过滤装置及系统有效
| 申请号： | 201922002042.X | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN211513831U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 洪俊华 | 申请（专利权）人： | 上海临港凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/12 | 分类号： | B01D46/12;B01D53/04 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦;杨东明 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空过滤装置及系统。真空过滤装置包括：一箱体；分别位于所述箱体两端的进气口和排气口；位于所述进气口和所述排气口之间的过滤器，所述过滤器连接于所述箱体的顶板和底板之间；以及，设置于所述顶板和所述底板中的介质通路，其中，所述过滤器包括：相互交错间隔排列的梳状板，所述梳状板用于提供之字形的气体通路。通过梳状板所提供的之字形气体通路和冷却介质的作用，使得自真空腔排出的含有掺杂剂的气体能冷凝于梳状板上，保护下游的真空泵组件，延长真空泵的保养周期。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 过滤 装置 系统 | ||
【主权项】：
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