[实用新型]一种金属连线应力迁移的测试结构及电子装置有效
申请号: | 201922005268.5 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN210778578U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 刘小红;刘玉伟 | 申请(专利权)人: | 无锡华润上华科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;G01R27/02 |
代理公司: | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人: | 冯永贞 |
地址: | 214028 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种金属连线应力迁移的测试结构及电子装置。所述测试结构包括:间隔设置的第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘和第四焊盘;电连接线,其中,所述电连接线的第一端同时连接所述第一焊盘和所述第二焊盘,所述电连接线的第二端同时连接所述第三焊盘和所述第四焊盘,所述电连接线位于所述第一端和第二端之间的中间部分构造为弯折且一端封闭的条形区域,其中,所述条形区域具有相对设置且隔离的两条边。本实用新型改进后的测试结构节约面积,可以利用常规的测试设备快速判断是否发生金属电迁移突出。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 连线 应力 迁移 测试 结构 电子 装置 | ||
【主权项】:
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