[实用新型]一种面蒸镀源结构和设备

摘要

本实用新型提供一种面蒸镀源结构和设备，包括坩埚、扩散腔和分散板，扩散腔设置在坩埚开口上，所述扩散腔底部开口坩埚顶部开口等大，扩散腔内设置有扩散板，扩散板上面设置有多个蒸汽扩散孔，扩散腔的开口由下往上依次增大，分散板盖在扩散腔的上开口处，分散板为平面板状结构，分散板上设置有多个喷嘴，所述喷嘴贯通分散板的上下面，所述喷嘴在分散板上均匀排列。上述技术方案通过在坩埚上的整个开口上设置扩散腔，可以减少扩散腔的侧壁面积，可以有效改善有机材料的利用率，降低蒸镀制程生产成本。可以缩小蒸镀设备整体的体积，降低设备采购成本。且通过扩散板的喷嘴，可以改善蒸镀成膜均匀性，可以提升蒸镀良率，降低生产成本。