[实用新型]用于振动感测装置的振动机构以及振动感测装置有效
| 申请号： | 201922007484.3 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN211085470U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 端木鲁玉;付博;方华斌;张硕 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 杨璐;柳岩 |
| 地址： | 266101 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于振动感测装置的振动机构以及振动感测装置。其中，所述振动机构的结构为：包括由基板和外壳围成的具有第一腔体的封装结构，以及收容在所述第一腔体内且设置在所述基板一表面上的MEMS芯片；还包括振动元件，所述振动元件固定设置在所述基板的另一表面上，所述振动元件与所述基板围合成第二腔体；在所述基板上设置有通孔，所述通孔将所述MEMS芯片的背腔与所述第二腔体连通并形成密闭空间，且在所述密闭空间内填充有气体；所述振动元件被配置为：用于响应外部的振动。本实用新型的一个技术效果为：将MEMS芯片固定在基板上，并单独设置了振动元件，能准确的感知MEMS芯片两端的压差，提升了产品的灵敏度和失真稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 振动 装置 机构 以及 | ||
【主权项】：
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