[实用新型]石英坩埚局部涂层制备用治具有效
申请号: | 201922011779.8 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN211070718U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 王建军;李常国;邓红;何玉鹏 | 申请(专利权)人: | 宁夏富乐德石英材料有限公司 |
主分类号: | B05C13/02 | 分类号: | B05C13/02 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 郑重;孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型提供一种石英坩埚局部涂层制备用治具,属于石英坩埚制作技术领域。包括涂层限位环及至少两个定位臂,定位臂的一端设置于涂层限位环上,另一端向上延伸,定位臂远离涂层限位环的一端设置有限位卡,若干定位臂位于同一圆周上,且该圆周的正投影与涂层限位环的正投影同圆心。将涂层限位环放置于石英坩埚的外侧底部,调节涂层限位环的位置,使得限位卡卡接于石英坩埚的上沿上,此时,涂层限位环正好位于石英坩埚底部中心位置,实现对石英坩埚局部涂层制备用治具的快速准确定位,且同时,利用限位卡使石英坩埚局部涂层制备用治具保持相对固定,不容易发生位移,从而提高石英坩埚底部涂层位置的确定性。 | ||
搜索关键词: | 石英 坩埚 局部 涂层 制备 用治具 | ||
【主权项】:
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