[实用新型]一种真空管道清洁装置有效
申请号: | 201922012496.5 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN210966214U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | B08B9/051 | 分类号: | B08B9/051;B08B13/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种真空管道清洁装置,包括:中空腔体;位于所述中空腔体的一侧的至少一个清洁管道,至少一个所述清洁管道的数量与真空管道的数量相同,每个所述清洁管道的一端与所述中空腔体内部连通,每个所述清洁管道的另一端能够封接于相应的真空管道的端口上,使得真空管道与相应的所述清洁管道连通;清洁结构,包括位于所述中空腔体内的驱动部以及位于所述清洁管道内的清洁部,所述清洁部具有能够与真空管道的内壁接触的清洁刷,所述驱动部通过一传动部控制所述清洁部沿着所述清洁管道进入到相应的真空管道内、并控制所述清洁部在真空管道内运动以对真空管道进行清洁。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 管道 清洁 装置 | ||
【主权项】:
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