[实用新型]一种退火设备有效
| 申请号： | 201922015043.8 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN210826448U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陈瑶;邓伟伟 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，具体公开一种退火设备。该退火设备包括退火腔体、电极机构和散热机构，退火腔体用于放置硅片组，硅片组包括叠垛的多个待退火硅片，电极机构包括分别设置于退火腔体上顶面和退火腔体下底面的电极组件，位于上方的电极组件的一侧能够与硅片组中位于最上层的待退火硅片的表面相抵接，位于下方的电极组件的一侧能够与硅片组中位于最下层的待退火硅片的表面相抵接，电极组件远离硅片组的一侧均设置有多个散热凸起，散热机构包括设置于退火腔体上部的抽风组件和设置于退火腔体下部以及侧壁上的吹风组件。通过散热机构与电极组件上的散热凸起的配合，能够达到较好的散热效果，保证叠垛的硅片的温度保持均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 退火 设备 | ||
【主权项】：
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