[实用新型]一种等离子刻蚀机的匀气盘有效
| 申请号： | 201922023653.2 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN211016995U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 廖海涛;孙文彬 | 申请（专利权）人： | 无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子刻蚀机的匀气盘，包括匀气盘本体，所述匀气盘本体内部包括有固定盘，所述固定盘内部开设有中透气孔，所述固定盘内部开设有第一调气孔，所述固定盘上端固定连接有导风块，所述固定盘下端开设有活动槽，所述固定盘内部开设有定位槽，且定位槽与活动槽内部相互连通，所述活动槽内部活动连接有活动块，所述活动块外侧固定连接有定位滑块，所述定位滑块下端固定连接有调节盘，所述调节盘内部从内至外依次开设有中透气孔与第二调气孔，所述调节盘边缘内部开设有通孔，所述固定盘边缘内部开设有固定孔。该等离子刻蚀机的匀气盘，增加了整体的灵活性，方便对整体进行调节，同时整体结构稳定，整体方便进行操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 匀气盘 | ||
【主权项】：
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